Komponen semikonduktor menunjukkan sensitivitas tinggi terhadap kelembapan karena desainnya yang rumit dan halus. Menjaga lingkungan yang kering dan bersih di seluruh tahapan produksi sangat penting untuk mencegah cacat dan memastikan kualitas, keandalan, dan kinerja produk yang optimal.
Kelembaban dapat menyebabkan oksidasi dan korosi pada lapisan dan sambungan logam, yang mengakibatkan korsleting dan peningkatan hambatan listrik. Hal ini juga dapat mengganggu proses litografi, yang sangat penting untuk mentransfer pola ke wafer silikon. Selain itu, kelembapan dapat merusak integritas bahan kemasan yang melindungi chip semikonduktor.
Bahan pengering memainkan peran penting dengan menyerap kelembapan berlebih dan menjaga kondisi kering di ruang bersih dan lingkungan penyimpanan. Efektivitasnya dalam mengurangi-masalah terkait kelembapan telah terbukti. Bagian berikut akan mempelajari berbagai jenis pengering yang digunakan dalam industri semikonduktor, aplikasi spesifiknya, dan manfaat yang diberikannya.
Jenis Pengering yang Umum Digunakan Dengan Semikonduktor
|
Tipe Pengering |
Komposisi |
Aplikasi |
Keuntungan |
|
Silika Gel |
Silikon dioksida |
Penyimpanan dan transportasi |
Tidak-beracun, stabil, dapat digunakan kembali setelah regenerasi, menyerap kelembapan hingga 40% dari beratnya |
|
Saringan Molekuler |
Aluminosilikat kristal |
Litografi, proses etsa |
Kapasitas adsorpsi tinggi, penyerapan air cepat, stabilitas dalam kondisi ekstrim |
|
Alumina Aktif |
Aluminium oksida berpori |
Sistem pengeringan udara dan gas |
Kapasitas adsorpsi tinggi, tahan terhadap guncangan termal, dapat digunakan kembali setelah regenerasi |
|
Tanah Liat Montmorillonit |
Tanah liat alami |
Pengemasan dan penyimpanan |
Kapasitas adsorpsi yang baik,-hemat biaya |
|
Tas Pengering |
Campuran berbagai pengering |
Kontrol kelembapan yang disesuaikan untuk komponen semikonduktor |
Dapat disesuaikan dengan kebutuhan spesifik, serbaguna dalam aplikasi |
Penerapan Desikan untuk Berbagai Tahapan
Fabrikasi Wafer
Selama fabrikasi wafer, sangat penting untuk menjaga kelembapan rendah untuk memastikan keakuratan proses litografi dan integritas perlakuan kimia. Bahan pengering, seperti saringan molekuler, digunakan di ruang bersih untuk mengontrol tingkat kelembapan secara efektif, mencegah kerusakan yang dapat timbul akibat fluktuasi kelembapan.
Kemasan
Pada tahap pengemasan, chip semikonduktor dibungkus dengan bahan pelindung untuk melindunginya dari kerusakan fisik dan faktor lingkungan. Bahan pengering seperti gel silika dan kemasan pengering dimasukkan ke dalam kantong penahan kelembapan untuk menciptakan lingkungan kering, sehingga memastikan chip tetap bebas dari masalah-yang terkait dengan kelembapan selama penyimpanan dan penanganan.
Penyimpanan dan Transportasi
Selama penyimpanan dan pengangkutan, komponen semikonduktor menghadapi risiko paparan terhadap berbagai kondisi lingkungan, yang dapat membahayakan integritasnya. Pengering kontainer digunakan dalam kontainer pengiriman untuk mengatur tingkat kelembapan, memberikan lapisan perlindungan tambahan untuk komponen. Hal ini membantu memitigasi risiko yang terkait dengan kelembapan dan menjaga kualitas semikonduktor sepanjang perjalanan rantai pasokannya.
